记者5月16日获悉，沈阳市重点技术攻关“揭榜挂帅”项目榜单于日前发布，31个“揭榜挂帅”项目对外张榜发布。榜单围绕统筹做好改造升级“老字号”、深度开发“原字号”、培育壮大“新字号”结构调整“三篇大文章”，聚焦IC装备、智能制造等12条重点产业创新链和网络安全、5G基础设施及应用、人工智能、智能终端、智能传感器等5个智慧产业方向，着重产业应用和企业急需，以解决产业链和技术“卡脖子”问题为主攻方向。

IC装备方向包括八大项目。其中，“集成电路装备用气体质量流量控制器阀块流道超精抛光关键技术攻关”项目揭榜任务为：围绕突破集成电路装备用气体质量流量控制器阀体流道超精抛光技术，进行复杂精密交叉孔超精密抛光工艺开发及专用设备研制，通过对超精表面抛光关键技术突破，解决集成电路装备零部件的国产化配套瓶颈问题等。“集成电路装备零部件高致密耐刻蚀氧化钇涂层制备关键技术攻关”项目揭榜任务为：围绕解决我国目前集成电路装备中关键零部件依赖进口及国内制造和防护技术无法满足要求问题，采取合适方法来消除涂层沉积过程中的大颗粒问题，消除由大颗粒所带来的涂层致密度差不耐腐蚀问题，从而有效保障涂层成分及性能的均匀性等。

本次“揭榜挂帅”项目向国内外高校、科研院所、企业、新型研发机构等征集揭榜单位，揭榜方应符合具有独立法人资格，与技术需求提出企业(发榜方)无关联关系;具有较强研发实力、完备的科研条件和由高层次人才领军的稳定的科研人员队伍等条件。揭榜方与发榜方达成共识后，将签订技术合同，确定项目实施内容、考核指标、科研周期、技术交易额、支付方式、验收标准等，并在技术市场完成登记备案。

据悉，经公示无异议项目，将列入本年度沈阳市级科技计划，按照沈阳市科技计划项目管理相关规定组织开展技术攻关。沈阳市科技创新专项资金对发榜方按照不超过技术交易额50%的标准，给予揭榜项目资金资助。